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1、利用高能高臭氧185nm UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧,即活性氧,因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合,進而生成臭氧;UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧與呈游離狀態污染物質原子聚合,生成新的、無害或低害物質,如CO2、H2O等,同時,臭氧對有機物具有極強的氧化作用,對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
2、利用高能253.4nm UV光束(簡稱254nm)裂解惡臭氣體中的分子鍵,破壞細菌的核酸(DNA),使之變成極不穩定的C鍵、-0H、O離子。這里受有機廢氣的成份、濃度不同,所需要的紫外線能量也不同。
3、惡臭氣體利用排風設備輸入到凈化設備后,凈化設備運用高能UV(紫外線)光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應,使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳,再通過排風管道排出室外。